Физико-химические основы технологии полупроводниковых материалов. Ежовский Ю.К - 24 стр.

UptoLike

= dxxc
l
с )(
1
0
, (1.19)
и значение с
0
зависит от числа проходов зоны. На рис. 1.6 приведено семейство
кривых распределения примеси (К<1) при различном числе проходов зоны N
по слитку размером в 10 зонных длин.
Характер распределения примеси по слитку (за исключением последнего
участка длиной в одну зону) в полулогарифмических координатах, как показа-
но Пфаном и представлено на рис.1.6, при большом числе проходов зоны бу-
дет приближаться к прямолинейному. Следовательно, распределение примеси
при этом можно описать уравнением вида:
с = А ехр(В с х), (1.20)
где А и Вконстанты.
Рис.1.6. Распределение примеси по
длине слитка при различном числе
проходов зоны N
Для повышения эффективности зонную плавку можно осуществлять в
тепловом поле с градиентом температуры. Это увеличивает перемешивание в
- 24 -