Составители:
Рубрика:
ваться эффектом очистки за счет зонной перекристаллизации, поскольку
жидкость, заключенная между двумя кристаллизующимися зонами будет
играть роль расплавленной зоны. Последнее позволяет для оценки глуби-
ны очистки вещества методом зонного замораживания использовать урав-
нение материального баланса типа (1.15) и пользоваться понятием конеч-
ного распределения примеси по образцу, как это делается при многократ-
ной
зонной перекристаллизации.
Вопросы и задания к главе 1
1. В чем заключается принципиальное отличие зонной перекристалли-
зации германия и кремния?
2. В каких случаях при очистке целесообразно использовать направлен-
ную кристаллизацию, а в каких зонную плавку?
3. Какой метод очистки сопровождает выращивание монокристаллов
методом Чохральского?
4. Почему при формировании областей р-типа в кремниевых планарных
приборах в качестве диффундирующей примеси используется
бор, хотя
галлий и алюминий имеют более высокие коэффициенты диффузии?
5. Коэффициент распределения цинка в кремнии К=1
.
10
-5
. Оценить ско-
рость направленной кристаллизации, при которой эффективный коэффи-
циент распределения будет не выше 1
.
10
-2
, если диффузионная длина
δ=150 мкм, и коэффициент диффузии D = 1
.
10
-5
см
2
/c.
6. Оценить, как изменится коэффициент распределения примеси, если
скорость кристаллизации увеличить в 2 раза и в 10 раз?
7. Определить какая часть кремниевого слитка может быть использова-
на как материал класса В4 при его очистке направленной кристаллизацией
от примесей, имеющих эффективный коэффициент распределения
К=1
.
10
-3
,
если их исходная концентрация с
o
=0,05
%.
- 27 -
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 25
- 26
- 27
- 28
- 29
- …
- следующая ›
- последняя »
