Приборы и компоненты акустоэлектроники. Методы возбуждения и приёма поверхностных акустических волн. Встречно-штыревой преобразователь - 7 стр.

UptoLike

7
волн, прошедшие в образец волны являются однородными и возмущение
затухает с глубиной. Это возмущение возбуждает рэлеевскую волну,
распространяющуюся по поверхности образца в направлении положительной
оси ОХ. Наилучшее возбуждение получается тогда, когда проекция ребра
призмы на наклонную грань совпадает с передним краем пьезопластинки, как
показано на рис. 1, в. В методе клина
возбуждается практически только одна
рэлеевская волна, причем уровень возбуждаемых объёмных волн лежит на
(20 … 30) дБ ниже. В настоящее время метод клина распространяется на
высокие частоты в интервале (10 … 60) МГц.
В 1958 г. А.Г. Соколинским предложен метод возбуждения рэлеевских
волн гребенчатой структурой, создающей на поверхности твёрдого тела
(подобно клину) периодическую совокупность нормальных
возмущений с
пространственным периодом, равным длине рэлеевской волны λ
R
(при
отличии пространственного периода от λ
R
возбуждение менее эффективно).
Такая структура проще всего может быть выполнена в виде металлической
пластинки гребенчатого профиля с периодическим чередованием выступов и
пазов шириной λ
R
/ 2 (рис. 1, г) и пластинки кварца Х-среза, лежащей на ней.
Гребенчатой структурой можно весьма эффективно возбуждать рэлеевские
волны в образце из любого материала, достаточно только сделать её
пространственный период равным λ
R
. Прецизионное изготовление
гребенчатых структур позволяет применять этот метод для возбуждения и
приёма рэлеевских волн и на высоких частотах ( 100 МГц и выше).
Недостатком метода гребенчатой структуры является высокий уровень
паразитных сигналов, связанных с излучением структурой объёмных волн.
Отметим также ещё один способ возбуждения рэлеевских волн,
представляющий практическую ценность в области
высоких частот. Луч от
мощного лазера проходит через решётку, состоящую из прозрачных и
непрозрачных полос и создаёт на поверхности кристаллического образца
периодическое чередование освещённости, которое из-за теплового эффекта
приводит к появлению периодических механических напряжений,
генерирующих рэлеевскую волну. В этом случае мы имеем дело с
разновидностью метода гребенчатой структуры.
Отдельного описания
требует ещё один важный с практической точки
зрения метод возбуждения ПАВвозбуждение металлическими