Приборы и компоненты акустоэлектроники. Методы возбуждения и приёма поверхностных акустических волн. Встречно-штыревой преобразователь - 9 стр.

UptoLike

9
тически любой формы, что очень важно для различных приложений.
В-третьих, несколько видоизменяя метод и усложняя технологию
изготовления преобразователя, можно возбуждать и принимать
поверхностные волны и в пьезопассивных образцах. Для этого на
поверхность такого образца наносится тонкая пьезоэлектрическая пленка, а
металлические электроды делаются над или под этой пленкой.
Совершенствование данного
метода возбуждения и приёма ПАВ позволило
создать множество пьезоакустоэлектронных приборов для обработки
информации, нашедших в настоящее время широкое техническое
применение. К ним относятся ультразвуковые линии задержки и фильтры,
усилители электрических сигналов, корреляторы, кодирующие и
декодирующие устройства, фазовращатели и пр.
2. ВСТРЕЧНО-ШТЫРЕВОЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ
В настоящее время в устройствах на
ПАВ для приёма и возбуждения
акустических волн используют, в основном, электродные типы
преобразователей (рис. 3). При этом на рабочей поверхности
пьезоэлектрического кристалла создаётся жёстко соединённая с этой
поверхностью решётка штырей из проводящего материала.
ВШПэто акустоэлектронное устройство, предназначенное для
преобразования электромагнитных волн в ПАВ и наоборот. ВШП состоит из
двух групп металлических
электродов (штырей), вложенных навстречу друг
другу и расположенных на поверхности пьезоактивного звукопровода. ВШП
впервые подробно описан Уайтом и Волтмером в 1965 году.
Технология нанесения штырей на поверхность пьезоактивного
материала обычно основывается на фотолитографических методах. Место
расположения электродов вначале покрывается тонкой металлической
плёнкой (например, путём вакуумного напыления) чаще всего из алюминия
или
золота. Затем на плёнку наносится фоторезист, на который через
фотомаску экспонируется рельеф электродов. После этого в результате