Основы автоматики. Гордеев А.С. - 157 стр.

            10.4. Датчик давления с ёмкостным преобразователем

           Электронная схема датчика давления может быть выполнена с
       выходом по частоте по схеме несимметричного мультивибратора
       (рис.10.4).




                        Рисунок 10.4 – Генераторная схема датчика давления.

           В качестве чувствительного элемента используется емкость С,
       состоящая из кремниевой мембраны M и неподвижного электрода,
       выполняемым на подложке П.
           Ёмкостно-резисторная R-C цепочка является времязадающей для
       работы операционного усилителя ОУ1. При изменении давления p на
       мембрану M расстояние между ней и подложкой П изменяется – ме-
       няется и электрическая емкость С.
           Установившееся значение частоты f колебаний генератора на ОУ1
       равно
                                            1
                                f =                    ,
                                    2CRln [1 + R1 R2 ]
          где С- измерительная ёмкость преобразователя перемещений.
          Транзистор T1, включенный по схеме эмиттерного повторителя,
       предназначен для усиления выходного сигнала по току.

                                10.5. Датчик влажности газов

           Конструктивно чувствительный элемент датчика влажности
       (гигрометра) выполнен (рис.10.5а) в виде пластины проводящего
       кремния – выполнен резистор Rk в виде полевого транзистора (МОП
       - резистор), имеющий электроды стока и истока (позиции 4 и 5 на
       рис.10.5а) и пористого электрода затвора 2, необходимого для про-
       никновения в него влажного воздуха среды.
                                                                              157

PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version www.pdffactory.com