Основы автоматики. Гордеев А.С. - 158 стр.

           На рис.10.5б приведена принципиальная схема электронного
       преобразователя, реализующая зависимость выходного сигнала от
       диэлектрической проницаемости резистора Rk. Управляемое влаж-
       ностью сопротивление Rk включено в обратную связь операционно-
       го усилителя ОУ1.




       Рисунок 10.5 – Датчик влажности: а) чувствительный элемент датчика влаж-
       ности: 1 - кристалл кремния, 2 - пористый электрод затвора, 3 - защитная сет-
        ка, 4 и 5 – гребенчатые электроды стока и истока, 6 – герметические вводы,
            7 – электронная плата; б) принципиальная схема датчика влажности.

           Диэлектрическая проницаемость смеси газов теоретически мо-
       жет быть вычислена по известным диэлектрическим проницаемо-
       стям компонент и весовых долей, входящих в ее состав:
                                               n          n
                                          ε = ∑ ε i Gi    ∑ Gi ,
                                              i =1       i =1

           где εi, Gi - соответственно диэлектрическая проницаемость и ве-
       совая доля вещества, входящего в состав смеси, ε - диэлектрическая
       проницаемость смеси веществ.
           В зависимости от влажности воздуха, находящегося в промежут-
       ке между электродами 4 и 5 – пористом электроде 2 (рис.10.5а), ди-
       электрическая проницаемость и проводимость резистора Rk будет
       изменяться. При постоянном R на выходе OУ2 будет равно


                                (                                (           )       )
                   U вых = U оп 1 + ε возд ε кр + ( ε воды Gводы ) ε кр Gвозд − R3 R2 ,



       158

PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version www.pdffactory.com