Физические основы микроэлектроники. Часть 1. Ханин С.Д - 12 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

ЛАБОРАТОРНАЯ РАБОТА 2

ПРОБОЙ И ЭЛЕКТРИЧЕСКОЕ СТАРЕНИЕ ДИЭЛЕКТРИКОВ

I. Цель работы

Анализ поведения диэлектриков (структуры и свойств) в сильных

электрических полях (экстремальных условиях).

II. Содержание работы

1. Измерение пробивного напряжения и определение электрической проч-

ности оксидных диэлектрических пленок.

2. Исследование вольт-амперных характеристик оксидных диэлект-

рических пленок в исходном аморфном состоянии и подвергнутых

электрическому старению в аморфно-кристаллическом состоянии.

3. Определение электрического параметра, информативного для

выявления структурной неоднородности оксидных пленок.

Ш. Основные теоретические положения

Пробоем диэлектрика называют явление необратимого уменьшения его

сопротивления под действием электрического поля, связанное с образованием

проводящего канала (шнура), плотность тока в котором значительно выше, чем

средняя по образцу [5].

Пробою диэлектрика часто предшествует его электрическое старение -

постепенное ухудшение диэлектрических свойств материала. Известно много

случаев, когда пробой может наступать и внезапно, а электрическое старение не

приводит к пробою.

Пробой и электрическое старение твердых диэлектриков могут быть

обусловлены различными процессами [6]:

- ударной ионизацией атомов решетки электронами, приобретающими в

электрическом поле высокую энергию электронами, что приводит к

лавинообразному увеличению концентрации носителей заряда в диэлектрике;