Составители:
Рубрика:
Утверждено редакционно-издательским советом института
УДК 621.382 (07)
Физические основы микроэлектроники. Часть 2.: Методические указания
к выполнению лабораторных работ.- СПб: СЗТУ, 2003.- 32 с.
Сформулированы теоретические основы и изложены методические
указания к выполнению лабораторных работ. В лабораторных работах 6, 7, 8,
9,10 исследуются контактные и поверхностно-чувствительные процессы в
неоднородных структурах, являющихся элементной базой интегральной
электроники и оптики, а также возможности неразрушающего контроля их
качества.
Комплексы лабораторных работ отвечают рабочей программе
дисциплины и разработаны в соответствии с требованиями Государственного
стандарта высшего профессионального образования по направлению
подготовки дипломированных специалистов 654300 ( специальность 200800 -
“Проектирование и технология РЭС”) и направлению подготовки бакалавров
551100 - “Проектирование и технология электронных средств”.
Рассмотрено на заседании кафедры технологии и дизайна
радиоэлектронной техники 16.01.2003 г., одобрено методической комиссией
факультета радиоэлектроники 23.01.2003 г.
Рецензенты: кафедра Технологии и дизайна радиоэлектронной техники СЗТУ
(заведующий кафедрой В.Н. Воронцов, канд. техн. наук, доц.), С.Д. Дубровенский,
канд. хим.наук, доцент кафедры Химической технологии материалов и изделий
электронной техники СПбГТИ (ТУ)
Составители: С.Д.Ханин, д-р физ.-мат. наук, проф.
О.В.Денисова, канд. хим.. наук, доц.
Северо-Западный государственный заочный технический университет, 2003
2
