Составители:
Рубрика:
Ясно, что сам по себе полупроводниковый титанат бария в силу
отсутствия электроизоляционных свойств использоваться в качестве
конденсаторного диэлектрика не может. Рабочим диэлектриком кон-
денсаторов 3-го типа служат образуемые в приповерхностной области
керамических заготовок или вокруг каждого зерна тонкие изолирую-
щие слои или гетерогенная система полупроводник - диэлектрик.
Существуют три типа конденсаторных структур на основе полу-
проводниковой керамики.
1. Структуры с барьерным слоем Шоттки, где тонкие высокоом-
ные слои образуются в приповерхностной области заготовок полупро-
водниковой керамики в процессе вжигания в них серебряных электро-
дов. Предполагается, что при этом происходит захват электронов на
поверхностные состояния, обусловленные растворяемым в серебре
кислородом. Электрическое поле образуемого на поверхности отрица-
тельного заряда приводит к формированию в приповерхностной об-
ласти слоев толщиной 1 - 3 мкм, обедненных носителями заряда и об-
ладающих высоким сопротивлением. Рабочие напряжения конденса-
торов этого типа не превышают 3,2 В.
2. Структуры реоксидированного типа, получаемые посредством
термического окисления заготовок восстановленной полупроводнико-
вой керамики на воздухе при Т = 1000 - 1100
о
С с образованием на по-
верхности диэлектрических слоев BaTiO
3
толщиной 10 - 50 мкм. Максимальное рабочее напряжение составляет
при этом 50 В. Эти конденсаторы отличаются простотой конструкции,
малыми трудоемкостью и материалоемкостью при высоких значениях
удельных емкостей. В то же время технологический процесс их про-
изводства недостаточно стабилен: изделия часто имеют недопустимо
36
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 34
- 35
- 36
- 37
- 38
- …
- следующая ›
- последняя »
