Техника высокого вакуума. Холодкова Н.В - 10 стр.

    Такие вакуумные схемы применяют в тех случаях, когда в
течение рабочего дня необходимо проводить несколько циклов
откачки (установки термического и ионного получения пленок,
установки плазмохимической обработки и т.п.).
    При первом цикле откачки порядок работы тот же, что и на
прямоточной установке (рис. 2). Обратите внимание лишь на
вентиль байпасной линии 11, который должен быть закрыт. После
достижения необходимого вакуума и проведения технологического
процесса в объеме 5, необходимо разгерметизировать его и извлечь
готовые образцы. Для этого необходимо закрыть вентиль 6 и
напустить атмосферный воздух в объем 5, открыв вентиль 9. Для
следующего цикла откачки следует закрыть вентиль 9, закрыть
вентиль 3 и открыть байпасный вентиль 11. Откачать объем до
давления запуска паромасляного насоса (до 10–1 мм рт. ст.), закрыть
вентиль 11 и открыть вентили 3 и 6.
    Для создания регулируемого потока газа через объем 5,
вакуумная установка может быть снабжена натекателем 8.
    Внимание! Перед напуском атмосферного воздуха в объем 5
необходимо      выключать     ионизационный     манометрический
преобразователь 10.
    Порядок выключения установки тот же, что и в прямоточной
системе.

    Установки четвертой группы сверхвысокого вакуума
(ниже 10–8 мм рт. ст.) могут конструироваться как по прямоточной
схеме, так и по схеме с байпасной линией. Отличие от установок для
получения высокого вакуума состоит в следующем:
  1. Для достижения сверхвысокого вакуума используют другие
     типы    высоковакуумных    насосов  (ионно-сорбционные,
     турбомолекулярные и криогенные);
  2. Между высоковакуумным насосом и откачиваемым объемом в
     трубопровод включается какая-либо ловушка для уменьшения
     обратного потока газа;
  3. Коммутирующая аппаратура и трубопроводы изготавливаются
     цельнометаллическими и прогреваемыми;
  4. Используют специальные манометрические преобразователи.



                                10