Техника высокого вакуума. Холодкова Н.В - 8 стр.

    Такие вакуумные схемы обычно применяются в тех случаях,
когда процесс откачки длителен и сопровождается обезгаживанием
внутренних частей вакуумной системы, активировкой катода при
откачке электровакуумных приборов и т.д. В этих случаях элементы
8 и 9 могут отсутствовать.
    Для создания вакуума порядка 10–6 – 10–7 мм рт. ст. обычно
используются диффузионные пароструйные насосы 4. В основе
работы диффузионного насоса лежат следующие процессы:
диффузия молекул газа из входного патрубка насоса в струю пара,
увлечение его струей и удаление в форвакуум при конденсации
рабочей жидкости на стенках. Диффузия газа совершается за счет
разности парциальных давлений газа в объеме и струе. Предельный
вакуум диффузионного насоса определяется диффузией паров
рабочей жидкости и обратной диффузией газов в объем. Для
обеспечения эффективной конденсации паров рабочей жидкости,
стенки насоса принудительно охлаждаются проточной водой или
воздухом.
    Давление запуска паромасляного насоса около 0,1 мм рт. ст.,
поэтому     перед    началом    откачки    необходимо       создать
предварительное разрежение в откачиваемом объеме с помощью
механического насоса, которое поддерживается в течение всей
работы диффузионного насоса вплоть до его отключения.
Паромасляные насосы начинают работать лишь через 30–40 минут
после включения нагревателя – это время необходимо для прогрева
корпуса, масла и формирования рабочей струи.
    Для работы диффузионного паромасляного насоса требуется
непрерывное поддержание на его выходе давления не более
0,1 мм рт. ст. при помощи механического насоса. Попадание
атмосферного воздуха в работающий диффузионный насос может
привести к окислению и осмолению масла и ухудшению
характеристик насоса вплоть до полного выхода его из строя.
    Для измерения давления ниже 10–3 мм рт. ст. используется
ионизационный манометрический преобразователь 10.
    В зависимости от величины давления в откачиваемом объеме 5
порядок работы на установке может быть следующим:
а) Давление в объеме 5 равно атмосферному
    Закрыть вентиль 2, открыть вентили 3 и 6, включить
электродвигатель механического насоса. При понижении давления

                                 8