Техника высокого вакуума. Холодкова Н.В - 17 стр.

UptoLike

17
которого можно определить, применив уравнение Менделеева-
Клапейрона,
0
0
1
1
P
N
N
P =
, (1)
где Р
0
, Р
1
и N
0
, N
1
начальное и конечное давления и количества
молекул в откачиваемом объеме.
Понижение давления, описываемое выражением (1),
соответствует статистическому состоянию, когда из вакуумной
системы удалено N
0
N
1
молекул газа. Но так как процесс откачки
идет непрерывно, в вакуумпроводе у входного патрубка вакуумного
насоса давление Р
1
будет ниже, чем давление Р
2
на другом его конце
у откачиваемого объекта. Следовательно, в динамическом режиме
(процесс откачки не прекращается) на концах вакуумпровода
создается и поддерживается разность давлений Р
2
Р
1
, которая
называется движущей разностью давлений. Она возникает из-за
того, что вакуумпровод оказывает сопротивление потоку газа,
подобно сопротивлению проводника электрическому току. Поэтому
движущую разность давлений по формальной аналогии с законом
Ома можно назвать падением давления вдоль вакуумпровода.
Введя понятие потока Q как количества газа, проходящего через
поперечное сечение вакуумпровода за единицу времени,
сопротивление вакуумпровода R можно выразить через параметры Q
и Р
2
Р
1
Q
PP
R
12
= . (2)
Однако в вакуумной технике удобнее пользоваться не
сопротивлением вакуумпровода, а величиной, обратной
сопротивлению, которую называют пропускной способностью или
проводимостью U. Тогда
1
2
PP
Q
U
=
. (3)
Таким образом, пропускная способность характеризуется
количеством газа, протекающего через любое сечение
вакуумпровода за единицу времени при движущей разности
давлений, равной единице. Пропускная способность зависит от
режимов течения газа и геометрических размеров трубопровода.
которого можно определить, применив уравнение Менделеева-
Клапейрона,
                                 N1
                          P1 =      ⋅ P0 ,                    (1)
                                 N0
где Р0, Р1 и N0, N1 – начальное и конечное давления и количества
молекул в откачиваемом объеме.
    Понижение      давления,    описываемое     выражением     (1),
соответствует статистическому состоянию, когда из вакуумной
системы удалено N0 – N1 молекул газа. Но так как процесс откачки
идет непрерывно, в вакуумпроводе у входного патрубка вакуумного
насоса давление Р1 будет ниже, чем давление Р2 на другом его конце
у откачиваемого объекта. Следовательно, в динамическом режиме
(процесс откачки не прекращается) на концах вакуумпровода
создается и поддерживается разность давлений Р2 – Р1, которая
называется движущей разностью давлений. Она возникает из-за
того, что вакуумпровод оказывает сопротивление потоку газа,
подобно сопротивлению проводника электрическому току. Поэтому
движущую разность давлений по формальной аналогии с законом
Ома можно назвать падением давления вдоль вакуумпровода.
    Введя понятие потока Q как количества газа, проходящего через
поперечное сечение вакуумпровода за единицу времени,
сопротивление вакуумпровода R можно выразить через параметры Q
и Р2 – Р1
                              P2 − P1
                         R=           .                       (2)
                                Q
    Однако в вакуумной технике удобнее пользоваться не
сопротивлением    вакуумпровода,  а    величиной,  обратной
сопротивлению, которую называют пропускной способностью или
проводимостью U. Тогда
                                Q
                        U=            .                       (3)
                              P2 − P1
    Таким образом, пропускная способность характеризуется
количеством   газа,    протекающего     через   любое    сечение
вакуумпровода за единицу времени при движущей разности
давлений, равной единице. Пропускная способность зависит от
режимов течения газа и геометрических размеров трубопровода.

                                    17