Техника высокого вакуума. Холодкова Н.В - 18 стр.

UptoLike

18
Для количественной характеристики степени улучшения
вакуума в откачиваемой системе пользуются такими параметрами,
как быстрота действия насоса S
н
и быстрота откачки объема S
о
.
Быстрота действия насоса определяется объемом газа,
поступающего в единицу времени из вакуумпровода в насос при
впускном давлении Р
1
т.е.:
1
Р
н
н
d
dV
S
τ
= , (4)
где dV
н
бесконечно малый объем газа, входящего в насос при
давлении Р
1
за бесконечно малый промежуток времени dτ. Переход к
бесконечно малым dV
н
и dτ связан с тем, что быстрота действия
большинства вакуумных насосов зависит от давления, которое в
свою очередь изменяется во времени, а знак минус в выражении (4)
означает процесс разрежения, а не сжатия газа.
В вакуумпроводе с сопротивлением R скорость снижения
давления у откачиваемого объекта будет меньше, чем у входа в
насос. Следовательно, эффективность насоса не будет полностью
использоваться, поэтому приходится вводить понятие быстроты
откачки объема S
о
. По аналогии с уравнением (4) можно записать:
2
Р
о
о
d
dV
S
τ
= . (5)
Это выражение также описывает изменение объема газа,
поступающего за единицу времени из откачиваемого объекта в
вакуумпровод при давлении Р
2
в откачиваемом объеме. Параметры
S
н
и S
о
измеряются в см
3
/с, л/с и т.п.
Количество газа, проходящего через любое сечение
вакуумпровода за единицу времени, есть величина постоянная.
Поэтому количественно поток Q может быть записан в виде:
τ
=
V
PQ , (6)
где Р давление газа в каком-либо сечении вакуумпровода;
V объем газа, проходящего через то же сечение за время τ.
Применив уравнение (6) к сечению входного патрубка насоса,
получаем:
н
н
SР
V
PQ =
τ
=
11
. (7)
    Для количественной характеристики степени улучшения
вакуума в откачиваемой системе пользуются такими параметрами,
как быстрота действия насоса Sн и быстрота откачки объема Sо.
    Быстрота действия насоса определяется объемом газа,
поступающего в единицу времени из вакуумпровода в насос при
впускном давлении Р1 т.е.:
                               dV
                         Sн = − н ,                           (4)
                                dτ Р1
где dVн – бесконечно малый объем газа, входящего в насос при
давлении Р1 за бесконечно малый промежуток времени dτ. Переход к
бесконечно малым dVн и dτ связан с тем, что быстрота действия
большинства вакуумных насосов зависит от давления, которое в
свою очередь изменяется во времени, а знак минус в выражении (4)
означает процесс разрежения, а не сжатия газа.
    В вакуумпроводе с сопротивлением R скорость снижения
давления у откачиваемого объекта будет меньше, чем у входа в
насос. Следовательно, эффективность насоса не будет полностью
использоваться, поэтому приходится вводить понятие быстроты
откачки объема Sо. По аналогии с уравнением (4) можно записать:
                                dV
                          Sо = − о .                          (5)
                                 dτ Р 2
     Это выражение также описывает изменение объема газа,
поступающего за единицу времени из откачиваемого объекта в
вакуумпровод при давлении Р2 в откачиваемом объеме. Параметры
Sн и Sо измеряются в см3/с, л/с и т.п.
     Количество газа, проходящего через любое сечение
вакуумпровода за единицу времени, есть величина постоянная.
Поэтому количественно поток Q может быть записан в виде:
                                   V
                           Q = P⋅     ,                     (6)
                                    τ
где Р – давление газа в каком-либо сечении вакуумпровода;
V – объем газа, проходящего через то же сечение за время τ.
    Применив уравнение (6) к сечению входного патрубка насоса,
получаем:
                                V
                        Q = P1 ⋅ н = Р1 ⋅ S н .             (7)
                                 τ


                               18