Техника высокого вакуума. Холодкова Н.В - 20 стр.

нормально работать. Этот параметр особенно важен для
высоковакуумных диффузионных насосов, у которых превышение
наибольшего выпускного давления 102 – 1 Па может привести к
разрушению паровой струи и заносу большого количества пара в
откачиваемый объем. Отметим, что наибольшее выпускное давление
диффузионных насосов практически совпадает с наибольшим
давлением запуска.
    Предельное остаточное давление Рпр – предельно низкое
давление, которое достигается насосом при работе без нагрузки, т.е.
когда на вход насоса не поступают извне газы или пары.
    Невозможность бесконечного понижения давления обусловлена
тем, что в каждом реальном насосе всегда существует обратный
поток газов и паров со стороны выпускного патрубка на выход
насоса. Обратный поток может состоять из паров рабочей жидкости,
газов, выделяющихся из конструкционных материалов, и газов,
натекающих из окружающей среды через неплотности. С
понижением давления поток откачиваемого газа в насосе
уменьшается, в то же время обратный поток остается практически
неизменным; поэтому наступает момент, когда эти потоки
становятся одинаковыми и давление на входе насоса перестает
понижаться. Это и есть предельное остаточное давление,
достигаемое насосом.
    У большинства насосов при достижении остаточного давления,
кроме остаточных газов, на входе имеются и конденсирующиеся
пары, в связи с чем различают полное остаточное давление, т.е.
сумму парциальных давлений остаточных газов и паров, и давление
остаточных газов.


    Контроль основных параметров вакуумных насосов
    При изготовлении и эксплуатации вакуумных насосов возникает
необходимость     в     периодической     проверке     основных
эксплуатационных параметров насосов. Измерения параметров
обычно проводят на испытательной установке, которая содержит,
кроме испытуемого насоса, измерительную камеру, средства
измерения давления, потока и состава газа, а также необходимую
коммутирующую аппаратуру.



                                20