Техника высокого вакуума. Холодкова Н.В - 25 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ИГХТУ | Иваново

Составители: 

Рубрика: 

25
Методы измерения потока разреженного газа
Один из важнейших параметров вакуумной системы – давление
определяется балансом потоков поступающего и откачиваемого
газов.
Поэтому при проведении различных процессов в вакууме важно
знать поток откачиваемых газов, тем более что поток является в
известной степени характеристикой качества обезгаживания или
состояния поверхности вакуумной системы.
Погрешность измерения потока разреженного газа обычно
составляет от 50 до 100% и во многом обусловлена сорбционно-
десорбционными процессами и погрешностью определения
расчетных величин давления.
а) Метод калиброванного потока
При реализации этого метода в рабочий объем вакуумной
системы вводят поток газа
к
Q , значение которого известно, а
парциальный состав соответствует составу газа, выделяющегося из
источника 1. Для определения потока из источника 1 проводят два
измерения давления: с подведенным потоком (Р
2
) и без него (Р
1
).
Если эффективная быстрота откачки S
o
в месте установки
манометрического преобразователя 2 остается постоянной, то на
основании уравнений:
2
1
P
QQ
S;
P
Q
S
к
+
==
oo
(19)
получим
1
1
2
−
=
PP
Q
Q
к
, (20)
где
Q
– поток газа из источника 1;
к
Q – известный вводимый поток
газа; Р
1
– давление в системе до введения в нее потока; Р
2
– давление
в системе после введения в нее потока.
Постоянство эффективной быстроты откачки проверяется путем
повторного измерения при другом значении вводимого потока
к
Q .
Если окажется при этом, что величина измеряемого потока
Q
не 
       Методы измерения потока разреженного газа
    Один из важнейших параметров вакуумной системы – давление
определяется балансом потоков поступающего и откачиваемого
газов.
    Поэтому при проведении различных процессов в вакууме важно
знать поток откачиваемых газов, тем более что поток является в
известной степени характеристикой качества обезгаживания или
состояния поверхности вакуумной системы.
    Погрешность измерения потока разреженного газа обычно
составляет от 50 до 100% и во многом обусловлена сорбционно-
десорбционными процессами и погрешностью определения
расчетных величин давления.
                а) Метод калиброванного потока
    При реализации этого метода в рабочий объем вакуумной
системы вводят поток газа Qк , значение которого известно, а
парциальный состав соответствует составу газа, выделяющегося из
источника 1. Для определения потока из источника 1 проводят два
измерения давления: с подведенным потоком (Р2) и без него (Р1).




    Если эффективная быстрота откачки So в месте установки
манометрического преобразователя 2 остается постоянной, то на
основании уравнений:
                              Q             Q + Qк
                          So = ; So =                            (19)
                              P1              P2
получим
                                  Qк
                            Q=            ,                      (20)
                                P2 P1 − 1
где Q – поток газа из источника 1; Qк – известный вводимый поток
газа; Р1 – давление в системе до введения в нее потока; Р2 – давление
в системе после введения в нее потока.
    Постоянство эффективной быстроты откачки проверяется путем
повторного измерения при другом значении вводимого потока Qк .
Если окажется при этом, что величина измеряемого потока Q не


                                 25

Страницы