Техника высокого вакуума. Холодкова Н.В - 26 стр.

изменилась, то это означает, что эффективная быстрота откачки
осталась постоянной и отсчеты потока достоверны.

 б) Метод калибровочного сопротивления и двух манометрических
                       преобразователей
    Для измерения потока газа в трубопроводе устанавливают
калиброванное сопротивление (капилляр, диафрагму) 3 с известной
проводимостью.    При движении газа на            калибровочном
сопротивлении 3 возникает разность давлений, которая измеряется с
помощью     манометрических      преобразователей    1    и    2,
устанавливаемых по обе стороны от сопротивления.




    Поток газа рассчитывается по уравнению
                          Q = U·(Р1 – Р2),                   (21)
где U – проводимость сопротивления 3; Р1 – давление газа,
измеренное перед сопротивлением преобразователем 1; Р2 –
давление газа, измеренное после сопротивления преобразователем 2.
    В качестве калибровочного сопротивления наиболее часто
используют тонкие перегородки, в которых делается несколько
отверстий. Толщина стенки перегородки должна быть не менее чем в
20 раз меньше диаметра отверстий в ней, которое в свою очередь
должно быть во столько же раз меньше размера трубопровода.
    Описанные выше методы применяют для измерения небольших
потоков газов (менее 10–3 м3·Па/с). Для измерения средних по
величине потоков (10–4 – 2 м3·Па/с) может быть рекомендован
следующий метод.
                    в) Метод ртутной капли
    К входному патрубку насоса 1, быстроту действия которого
требуется определить, присоединяется объем 2 с манометром 3 и
трубка небольшого сечения с регулируемым натекателем 4. Вход
натекателя 4 сообщается с атмосферой через капилляр 5 и кран 6.
При работающем насосе и открытом кране 6 натекателем можно
отрегулировать такое количество поступающего в насос воздуха,
                               26