Техника высокого вакуума. Холодкова Н.В - 29 стр.

UptoLike

29
Объемы, расположенные между общей образующей и
отверстиями в статоре, являются "вредными" пространствами.
Вредность пространства у выходного отверстия заключается в том,
что в нем газ сильно сжат, в то время как в полости всасывания
создается разрежение, в результате чего возможен прорыв газа в
откачиваемую систему.
Трущиеся поверхности пластинчатых насосов должны быть
хорошо обработаны и нуждаются в постоянной смазке. Смазка,
кроме того, служит для заполнения пространства 5 в конце сжатия.
Это необходимо для открытия выпускного клапана, когда вакуум,
создаваемый насосом, приближается к предельному и давление
сжатого газа недостаточно для открытия выхлопного канала.
Предельный вакуум, создаваемый пластинчато-роторными
насосами, зависит не только от величины вредного пространства, но
также от качества обработки поверхностей, их смазки и сорта масла.
Обычно для одной ступени предельный вакуум достигает значения
10
–1
10
–2
мм рт. ст.
Для получения лучшего предельного вакуума применяют
последовательное соединение двух насосов, как показано на рис. 7.
Они выполняются в одном блоке, и тогда насос называется
двухступенчатым. Для двухступенчатых насосов предельное
давление около 10
–3
мм рт. ст. Для увеличения быстроты откачки
вакуумной системы допускается параллельное включение
механических насосов.
Рис. 7. Схема двухступенчатого насоса.
В пластинчато-статорном насосе пластина 3 расположена в
статоре 1 (рис. 8). Так как ротор 2 насажен эксцентрически по
отношению к камере и вращается вокруг оси симметрии в
цилиндрической полости статора, пластина под действием пружины
    Объемы, расположенные между общей образующей и
отверстиями в статоре, являются "вредными" пространствами.
Вредность пространства у выходного отверстия заключается в том,
что в нем газ сильно сжат, в то время как в полости всасывания
создается разрежение, в результате чего возможен прорыв газа в
откачиваемую систему.
    Трущиеся поверхности пластинчатых насосов должны быть
хорошо обработаны и нуждаются в постоянной смазке. Смазка,
кроме того, служит для заполнения пространства 5 в конце сжатия.
Это необходимо для открытия выпускного клапана, когда вакуум,
создаваемый насосом, приближается к предельному и давление
сжатого газа недостаточно для открытия выхлопного канала.
    Предельный вакуум, создаваемый пластинчато-роторными
насосами, зависит не только от величины вредного пространства, но
также от качества обработки поверхностей, их смазки и сорта масла.
Обычно для одной ступени предельный вакуум достигает значения
10–1 – 10–2 мм рт. ст.
    Для получения лучшего предельного вакуума применяют
последовательное соединение двух насосов, как показано на рис. 7.
Они выполняются в одном блоке, и тогда насос называется
двухступенчатым. Для двухступенчатых насосов предельное
давление около 10–3 мм рт. ст. Для увеличения быстроты откачки
вакуумной системы допускается параллельное включение
механических насосов.




               Рис. 7. Схема двухступенчатого насоса.

    В пластинчато-статорном насосе пластина 3 расположена в
статоре 1 (рис. 8). Так как ротор 2 насажен эксцентрически по
отношению к камере и вращается вокруг оси симметрии в
цилиндрической полости статора, пластина под действием пружины

                                 29