Техника высокого вакуума. Холодкова Н.В - 62 стр.

UptoLike

62
в) низкий вакуум в насосе
В этом случае загорается лампа "низкий вакуум" и стрелка
прибора влево не двигается. Если ток не уменьшается в течение
20–30 секунд, следует выключить БП.
Такой режим работы свидетельствует о том, что давление газа в
насосе выше давления запуска. В этом случае необходимо создать
предварительное разрежение в корпусе НМД с помощью
форвакуумного насоса.
Дальнейший ход работы в случаях а) и б)
1. Открыть вентиль 1 вращением против часовой стрелки. Этим вы
напустите атмосферный воздух в рабочий объем. Затем следует
закрыть вентиль 1 до упора с усилием.
2. Включить форвакуумный насос поворотом ручки "фор.насос".
Через 5 мин плавно открыть вентиль 2. С этого момента
начинается откачка рабочего объема.
3. Включить термопарную часть вакуумметра ВИТ-2. Проверить и в
случае необходимости установить ток лампы ПМТ-2. Измерить
давление в рабочем объеме.
4. При достижении вакуума в рабочем объеме соответствующего
60-70 делениям прибора термопарной части вакуумметра закрыть
вентиль 2 до упора.
5. Поставить предел измерения на БП в положение 2 А и плавно
открыть вентиль 3 вращением против часовой стрелки. В первый
момент после этого показания прибора на БП могут возрасти, и
даже может включиться на некоторое время лампа "низкий
вакуум". Далее при нормальном ходе откачки показания прибора
на БП будут уменьшаться.
6. При достижении вакуума в рабочем объеме соответствующего
95-100 делениям термопарной части вакуумметра можно
включить ионизационную часть вакуумметра и измерить
давление лампой ПМИ-2.
7. Производить откачку рабочего объема в течение 30-40 мин.
Определить значение предельного вакуума в рабочем объеме.
Дальнейший ход работы в случае в)
1. Включить форвакуумный насос. Через 5 мин открыть вентиль 2 и
через 10-15 мин плавно открыть вентиль 3. Откачать рабочий
объем в насосе НМД до давления 70-80 делений по термопарному
вакуумметру.
в) низкий вакуум в насосе
     В этом случае загорается лампа "низкий вакуум" и стрелка
прибора влево не двигается. Если ток не уменьшается в течение
20–30 секунд, следует выключить БП.
     Такой режим работы свидетельствует о том, что давление газа в
насосе выше давления запуска. В этом случае необходимо создать
предварительное разрежение в корпусе НМД с помощью
форвакуумного насоса.
             Дальнейший ход работы в случаях а) и б)
1. Открыть вентиль 1 вращением против часовой стрелки. Этим вы
   напустите атмосферный воздух в рабочий объем. Затем следует
   закрыть вентиль 1 до упора с усилием.
2. Включить форвакуумный насос поворотом ручки "фор.насос".
   Через 5 мин плавно открыть вентиль 2. С этого момента
   начинается откачка рабочего объема.
3. Включить термопарную часть вакуумметра ВИТ-2. Проверить и в
   случае необходимости установить ток лампы ПМТ-2. Измерить
   давление в рабочем объеме.
4. При достижении вакуума в рабочем объеме соответствующего
   60-70 делениям прибора термопарной части вакуумметра закрыть
   вентиль 2 до упора.
5. Поставить предел измерения на БП в положение 2 А и плавно
   открыть вентиль 3 вращением против часовой стрелки. В первый
   момент после этого показания прибора на БП могут возрасти, и
   даже может включиться на некоторое время лампа "низкий
   вакуум". Далее при нормальном ходе откачки показания прибора
   на БП будут уменьшаться.
6. При достижении вакуума в рабочем объеме соответствующего
   95-100 делениям термопарной части вакуумметра можно
   включить ионизационную часть вакуумметра и измерить
   давление лампой ПМИ-2.
7. Производить откачку рабочего объема в течение 30-40 мин.
   Определить значение предельного вакуума в рабочем объеме.
                Дальнейший ход работы в случае в)
1. Включить форвакуумный насос. Через 5 мин открыть вентиль 2 и
   через 10-15 мин плавно открыть вентиль 3. Откачать рабочий
   объем в насосе НМД до давления 70-80 делений по термопарному
   вакуумметру.
                                62