Техника высокого вакуума. Холодкова Н.В - 60 стр.

образующихся легких углеводородов. Но это достаточно длительный
процесс.
    Главным преимуществом электроразрядных насосов является
получение с их помощью вакуума, свободного от загрязняющих
примесей органических веществ. Следовательно, не возникает
необходимость использовать с этими насосами охлаждаемые
ловушки или отражатели, что, в свою очередь, позволяет полностью
реализовать собственную скорость откачки насоса, а также
открывает возможность размещения насоса непосредственно в
вакуумной камере.
    Для большинства электроразрядных насосов требуется только
источник электропитания, который не нуждается в специальном
обслуживании и средствах защиты. По току разряда в насосе можно
оценивать давление в системе, и при незначительном изменении
схемы блока питания насос можно использовать в качестве
течеискателя.
    К недостаткам электроразрядных насосов следует отнести их
ограниченную газовую емкость, низкую скорость откачки инертных
газов, а также наличие сильных магнитных полей, присутствие
которых в некоторых случаях недопустимо.

                 Комбинированные насосы
    Комбинированные насосы представляют собой совокупность
нескольких откачных средств, размещенных в одном корпусе:
адсорбционного     и   испарительного   геттерного     насосов,
испарительного геттерного и электроразрядного насосов и др.
Целесообразность подобных комбинаций определяется тем, что
геттерные насосы эффективно откачивают химически активные
газы, но непригодны для откачки инертных газов (даже в смеси с
активными) и углеводородов.

    Цель данной работы – приобретение навыков откачки рабочего
объема с помощью магниторазрядного диодного насоса НМД-0,063
и установление зависимости между давлением в объеме и током
разряда насоса. Схема установки представлена на рис.5.




                               60