Техника высокого вакуума. Холодкова Н.В - 58 стр.

который помещается в магнитное поле, создаваемое постоянным
магнитом 3. Каждое отверстие в аноде вместе с противолежащими
участками катодов образует разрядную ячейку насоса. При
приложении разности потенциалов между электродами разрядного
блока, находящегося в вакууме, в ячейках насоса возникает
электрический разряд. Для возникновения разряда достаточно
случайного присутствия в разрядном промежутке нескольких
электронов. Под действием сильного электрического и магнитного
полей электроны движутся по спирали вокруг разрядной ячейки. На
своем пути электроны производят ионизацию газа. Образующиеся
положительные ионы распыляют титан из катодных пластин.




    Рис. 4. Принципиальная схема диодного магниторазрядного насоса:
             1 – титановый катод; 2 – анод; 3 – магнитное поле.

    Поскольку основная часть распыляемых частиц титана
представляет собой электрически нейтральные атомы и молекулы,
они осаждаются на все поверхности электродов, но, главным
образом, на анод. Активные газы, попадая на непрерывно
возобновляемую пленку титана, хемосорбируются ею. Катоды также
поглощают газы, но из-за постоянного распыления большей части их
поверхности вклад катодов в процесс откачки активных газов
незначителен.
    Наряду с этим в магниторазрядных насосах имеет место
проникновение ионов в материал катода. Последнее характерно для
откачки легких газов – водорода и гелия. Водород легко
диффундирует в титане, образуя твердые растворы.
    Откачка    тяжелых     инертных     газов   преимущественно
осуществляется катодами. В силу больших размеров и
соответственно малой подвижности ионов этих газов диффузия их
                                  58