Техника высокого вакуума. Холодкова Н.В - 59 стр.

UptoLike

59
вглубь катода практически отсутствует. При бомбардировке катодов
ионами инертных газов, например, аргона поверхностный слой
распыляется, в результате чего вновь высвобождается ранее
поглощенный аргон. Такие выбросы газа приводят к возрастанию
давления более чем в 10 раз. Этот эффект называется аргонной
нестабильностью. Таким образом, ионы аргона обратимо
поглощаются только небольшими участками катодов, которые не
подвержены эффективной бомбардировке ионами газа.
Длительность старта (запуска) магниторазрядных насосов
зависит от степени чистоты внутренних поверхностей откачиваемого
сосуда и насоса, а также от степени предварительного разрежения.
Неохлаждаемый магниторазрядный насос может запускаться с
давлений не более 0,1 мм рт. ст., но в таком случае длительность
старта может превышать 3 часа.
В момент старта насоса при высоком давлении запуска,
возникающий тлеющий разряд может выходить за пределы
разрядных ячеек, захватывая даже область присоединительного
патрубка насоса. В этом случае при выключении средств
предварительной откачки с откачиваемым сосудом и
магниторазрядным насосом и включении насоса вместо понижения
давления будет наблюдаться его повышение в результате
повышенного газовыделения внутренних поверхностей насоса и
присоединительного патрубка. Если нет возможности создать
лучшее предварительное разрежение, запуск насоса производят, не
прекращая предварительной откачки. Средства предварительной
откачки отсоединяют от откачиваемого сосуда и насоса после того,
как стабильно начнет понижаться давление.
Достигаемое с помощью магниторазрядных насосов предельное
остаточное давление зависит от предыстории насоса, суммарной
наработки, режимов работы и рода откачиваемого газа. На
предельное остаточное давление, так же как и на длительность
старта, сильное влияние оказывает загрязнение насоса
углеводородами. Например, создание предварительного разрежения
с помощью механических насосов с масляным уплотнением
повышает предельное остаточное давление в 5-10 раз.
С течением времени (если принудительно не обезгазить насос)
происходит самовосстановление насоса в результате разложения
тяжелых углеводородов в разряде с последующей откачкой
вглубь катода практически отсутствует. При бомбардировке катодов
ионами инертных газов, например, аргона – поверхностный слой
распыляется, в результате чего вновь высвобождается ранее
поглощенный аргон. Такие выбросы газа приводят к возрастанию
давления более чем в 10 раз. Этот эффект называется аргонной
нестабильностью. Таким образом, ионы аргона обратимо
поглощаются только небольшими участками катодов, которые не
подвержены эффективной бомбардировке ионами газа.
    Длительность старта (запуска) магниторазрядных насосов
зависит от степени чистоты внутренних поверхностей откачиваемого
сосуда и насоса, а также от степени предварительного разрежения.
Неохлаждаемый магниторазрядный насос может запускаться с
давлений не более 0,1 мм рт. ст., но в таком случае длительность
старта может превышать 3 часа.
    В момент старта насоса при высоком давлении запуска,
возникающий тлеющий разряд может выходить за пределы
разрядных ячеек, захватывая даже область присоединительного
патрубка насоса. В этом случае при выключении средств
предварительной     откачки    с    откачиваемым     сосудом    и
магниторазрядным насосом и включении насоса вместо понижения
давления будет наблюдаться его повышение в результате
повышенного газовыделения внутренних поверхностей насоса и
присоединительного патрубка. Если нет возможности создать
лучшее предварительное разрежение, запуск насоса производят, не
прекращая предварительной откачки. Средства предварительной
откачки отсоединяют от откачиваемого сосуда и насоса после того,
как стабильно начнет понижаться давление.
    Достигаемое с помощью магниторазрядных насосов предельное
остаточное давление зависит от предыстории насоса, суммарной
наработки, режимов работы и рода откачиваемого газа. На
предельное остаточное давление, так же как и на длительность
старта,   сильное    влияние    оказывает    загрязнение   насоса
углеводородами. Например, создание предварительного разрежения
с помощью механических насосов с масляным уплотнением
повышает предельное остаточное давление в 5-10 раз.
    С течением времени (если принудительно не обезгазить насос)
происходит самовосстановление насоса в результате разложения
тяжелых углеводородов в разряде с последующей откачкой


                               59