Техника высокого вакуума. Холодкова Н.В - 57 стр.

    Увеличение длины свободного пробега электронов в таком
насосе достигается при их движении в электрическом поле между
двумя    концентрическими     заряженными     цилиндрами.   Для
уменьшения вероятности захвата электронов внутренний цилиндр
(анод) выполняется в виде стержня небольшого диаметра
(проволоки), который находится под положительным потенциалом, а
внешний цилиндр (катод) поддерживается под отрицательным
потенциалом, который, как правило, заземляется. Нить накала,
экранированная со стороны анода токовводом, находится под
небольшим положительным потенциалом смещения по отношению к
катоду, что препятствует попаданию на него электронов,
эмиттируемых нитью накала. В этих условиях векторы скоростей
электронов имеют как осевую, так и тангенциальную составляющие,
и их траектории представляют собой сложные пространственные
кривые. При этом большая часть электронов не попадает на анод и
может достаточно долго двигаться по своим орбитам, что создает
условия для эффективной ионизации остаточных газов. Часть
электронов, траектории которых проходят вблизи анода, попадают
на навеску из титана, закрепленную на аноде, и разогревают ее до
температуры испарения, при этом титан осаждается на поверхности
корпуса насоса, который является коллектором ионов.
    Недостатки насосов этого типа – наличие накаленных частей с
ограниченным сроком службы, небольшой запас геттера и
отсутствие саморегулирования скорости испарения.

           Магнитные электроразрядные насосы
    В магнитных электроразрядных насосах разряд в скрещенных
электрическом и магнитном полях используется как для ионизации
газов, так и для распыления геттерного материала катодов.
    Основная откачка активных газов магниторазрядными насосами
осуществляется в результате хемосорбции газов постоянно
возобновляемой      пленкой    титана.   Непременным      условием
эффективной и устойчивой работы магниторазрядных насосов, как и
геттерных и ионно-геттерных насосов, является соответствие
количества распыляемого титана количеству поступающего газа.
    Принцип устройства магниторазрядного насоса представлен на
рис. 4. Плоские титановые катоды 1 и анод 2, состоящий из многих
прямоугольных или круглых ячеек, образуют электродный блок,

                                57