Техника высокого вакуума. Холодкова Н.В - 55 стр.

    В процессе эксплуатации геттерных насосов необходима
периодическая чистка корпуса насоса от пленок титана.
Необходимая периодичность чистки определяется режимом работы
насоса, рабочим давлением, количеством напусков атмосферного
воздуха и т.д. Рекомендуется чистить насос после испарения трех-
четырех блоков испарителей.
    Наиболее частым видом отказа геттерного насоса является
замыкание электродной системы по изоляторам в результате
запыления их титаном. Частота отказов выше, если насос в основном
работает при высоких впускных давлениях.
    Следует отметить, что геттерные насосы представляют собой
удобные вспомогательные откачивающие устройства, позволяющие
эффективно устранять неожиданные выбросы газа в систему,
например, вследствие интенсивного газовыделения из какого-либо
элемента установки.
    К недостаткам этих насосов, препятствующим их применению в
качестве основных насосов для получения сверхвысокого вакуума,
остается трудность обеспечения максимальной активации
поглотителей, а также плохая воспроизводимость скорости откачки.
Кроме того, насосы этого типа не способны откачать инертные газы
и углеводороды.

                  Ионно-геттерные насосы
    Эффект ионного откачивания газов определяется, главным
образом, следующими двумя причинами. Ионизованные молекулы
активных газов, таких, как O2, H2, N2 и СO2 обладают значительно
более высокой химической активностью по сравнению с
нейтральными молекулами. Ионы, ускоряясь в электрическом поле,
приобретают значительную кинетическую энергию и вследствие
этого могут проникать вглубь поверхности, об которую они
ударяются. Кроме того, возникают вторичные эффекты,
обусловленные распылением металла катода при бомбардировке его
ионами. Образующиеся при этом частицы металла при столкновении
с молекулами газа могут их захватывать, обеспечивая тем самым
откачивание газа. Кроме того, частицы металла, осаждаясь на
поверхности, создают поглощающую газ активную пленку,
аналогичную пленке геттера.
    Таким образом, в ионно-геттерном насосе необходимо
обеспечить, в первую очередь, эффективную ионизацию молекул
                               55