Техника высокого вакуума. Холодкова Н.В - 53 стр.

сорбции инертных газов, характерной для геттеров, эффективная
откачка этих газов испарительными насосами невозможна.
                                                       Таблица 1
  Газ      Н2     СО     N2     O2    CO2     Ar     Kr     Xe
   Е,
           19,3   419    356    813    461   8,38   16,8   33,5
кДж/моль

    Кроме высокой сорбционной активности, к геттерам
предъявляют ряд других требований. Геттер должен легко
испаряться при температуре не слишком высокой, чтобы не
испарялись другие материалы вакуумной системы, но и не слишком
низкой, чтобы можно было проводить обезгаживание системы.
Геттер должен иметь низкое давление паров и должен быть
активным в широком интервале температур. Образующиеся
химические соединения должны быть устойчивы, чтобы
поглощенный при температуре окружающей среды газ не выделялся
во время работы насоса.
    Сорбционные характеристики геттерных пленок сильно зависят
от температуры и условий образования. Инертные газы и
углеводороды геттерными пленками практически не поглощаются,
их удаляют с помощью вспомогательных средств откачки. При этом
не удается полностью освободиться от углеводородов, т.к. они
синтезируются на поверхности пленки, играющей роль катализатора.
Присутствие углеводородов в составе остаточных газов не позволяет
получить остаточное давление ниже 10–6 – 10–8 Па.
    В испарительных геттерных насосах титан нагревается до 1100 –
1400 °С в зависимости от требуемой скорости испарения и типа
испарителя. Обычно различают насосы с твердофазными
испарителями, в которых температура поверхности титана
значительно ниже его температуры плавления и жидкофазными, в
которых титан нагревается выше температуры плавления.
    Некоторые конструкции испарителей представлены на рис. 1.
    Особенностью методов нанесения геттерных покрытий в
испарительных насосах является тепловая природа процесса, при
этом скорость испарения частиц определяется температурой нагрева
и их энергия не превышает 0,3 эВ.
    Нагрев испарителей осуществляется резистивным путем либо
электронно-лучевой бомбардировкой. Существенный недостаток
резистивных и электронно-лучевых испарителей геттерного
материала – наличие накаленных частей электродной системы, что

                               53