Техника высокого вакуума. Холодкова Н.В - 51 стр.

              Лабораторная работа № 4
 ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СРЕДСТВА ОТКАЧКИ

 Принцип действия и классификация электрофизических
                  средств откачки
    Принцип действия электрофизических средств откачки основан
на различных комбинациях способов генерации пара геттеров,
ионизации молекул откачиваемых газов и ускорения образованных
ионов с последующим протеканием различных физико-химических
процессов при взаимодействии частиц с поверхностью сорбции. По
методу нанесения геттерных покрытий различают испарительные
геттерные, ионно-геттерные, магнитные электроразрядные и
комбинированные насосы.
    При взаимодействии нейтральных атомов испаряемого
материала и ускоренных ионов откачиваемых газов с поверхностью
сорбции различают следующие основные процессы поглощения
газов: сорбция, ионная откачка и "замуровывание" ионов.
    Сорбция – поглощение молекул газа в результате образования
слабой физической или сильной химической связи и твердых
растворов. Физически адсорбируются только молекулы инертных
газов, основным механизмом при откачке активных газов является
образование химических соединений (окислов, нитридов и др.),
которые имеют весьма низкие давления паров и диссоциируют при
очень высоких температурах.
    После процесса хемосорбции поглощение газов происходит в
результате диффузии в кристаллическую решетку металла.
Движущей силой диффузии является градиент концентрации газа по
толщине слоя геттера и тепловое движение молекул.
    Ионная откачка – поглощение ионизованных молекул газа в
результате внедрения ускоренных электрическим полем ионов в
материал отрицательно заряженных электродов с последующей
диффузией.
    Ионы химически активных газов могут образовывать
химические соединения, а ионы инертных газов удерживаются в
кристаллической решетке физическими связями. При непрерывной
ионной бомбардировке катода, часть ранее захваченных газов в
результате катодного распыления может выделиться обратно в

                              51