Техника высокого вакуума. Холодкова Н.В - 52 стр.

откачиваемый сосуд. При поглощении ионов различных газов
возможно замещение одного газа другим. Энергия связи ионов с
поверхностью близка к энергии связи молекул при хемосорбции.
Количество поглощенных газов при постоянной скорости ионов
прямо пропорционально силе разрядного тока и времени
прохождения тока.
    Замуровывание ионов играет существенную роль при откачке
инертных газов, хотя и не оказывает влияния на общую быстроту
откачки насоса. При нормальной температуре время адсорбции
невозбужденных молекул инертного газа на сорбирующих
поверхностях слишком мало, чтобы этот механизм откачки мог быть
заметным. Падающий на поверхность ион и возбужденные атомы
пребывают на поверхности сорбции значительное время –
достаточное для замуровывания слоями распыляемого геттера. При
увеличении отрицательного потенциала поверхности сорбции и
увеличения скорости распыления геттера этот эффект становится
более значительным и быстрота откачки увеличивается.

            Испарительные геттерные насосы
    Принцип действия испарительных геттерных насосов основан на
физическом и химическим связывании газов с поверхностью, на
которую в процессе работы наносятся слои активных веществ –
геттеров.
    В качестве геттеров обычно используют пленки титана,
циркония, тантала, бария, молибдена и других химических активных
веществ.
    Чтобы откачивающее действие пленок геттеров было
эффективным, коэффициент прилипания газа на сорбирующей
поверхности должен быть близок к единице, а время пребывания
молекул газа на поверхности сорбции – по возможности
продолжительным. Эти условия выполняются при использовании
материалов с большой энергией химической связи, а также при
снижении температуры сорбирующей поверхности.
    Основным фактором при выборе геттера является сорбционная
активность пленок. Один из физических показателей этой
активности – теплота сорбции Е, определяющая прочность связи
адсорбированных частиц. Значения теплоты сорбции газов на
пленках титана приведены в таблице 1. Вследствие малой теплоты

                               52