Техника высокого вакуума. Холодкова Н.В - 54 стр.

ограничивает давление запуска и ресурс работы, а также ухудшает
регулируемость    скорости   испарения    из-за   инерционности




                       а                                  б
          Рис. 1. Конструкции испарительных геттерных насосов:
                    а – твердофазные; б – жидкофазные.
           1 – нагреватель; 2 – испаряемый геттерный материал;
   3 – биметаллический испаритель; 4 – держатель; 5 – катод; 6 – расплав.

испарителей и экспоненциальной зависимости скорости испарения
от температуры.
    В некоторых геттерных насосах для получения пленок геттеров
используется метод катодного распыления, в основе которого лежит
процесс выбивания (распыления) атомов материала катода в
результате передачи импульса при взаимодействии с поверхностью
ионов высокой энергии, образуемых в плазме разряда, горящего в
атмосфере откачиваемого газа. Основные конструкции применяемых
систем приведены на рис. 2.




                      а                             б
   Рис. 2. Электроразрядные устройства на основе катодного распыления:
                  а) триодное; б) ускоренным пучком ионов.
 1 – корпус; 2 – катод; 3 – анод; 4 – плазменный ускоритель; 5 – мишень; 6 –
                                  пучок ионов.

    Важное преимущество насосов на основе катодного распыления
наличие холодной электродной системы, которая определяет их
большой срок службы.


                                     54