Техника высокого вакуума. Холодкова Н.В - 66 стр.

снова заняты газом, диффундирующим из объема твердого тела.
Ясно, что обезгаживание следует вести при повышенных
температурах, чтобы ускорить процессы десорбции и диффузии.
Однако в некоторых случаях при повышенных температурах
процессы могут осложняться за счет химического взаимодействия
газов с твердым телом.
    На практике бывает довольно трудно различить, за счет какого
процесса поглощается или выделяется газ. Более легко различима
физическая адсорбция (десорбция), при которой газ поглощается или
выделяется практически мгновенно. В общем случае для
распознавания природы поглощения газа основываются на форме
кривых зависимости количества выделившегося газа от времени при
изотермическом обезгаживании. Если газовыделение обусловлено в
основном диффузией газа из объема твердого материала, то скорость
                                                 1
выделения газа приблизительно пропорциональна       , (где τ – время
                                                  τ
обезгаживания). Скорость выделения хемосорбированного газа
пропорциональна τ −1 , а образующегося при поверхностной
                            1
термической диссоциации – 2 .
                           τ
    Количество физически адсорбированного газа считают
эквивалентным мономолекулярному слою: 0,3–0,5 л·мм рт. ст./см2.
Этот газ удаляется за 2-3 минуты при нагреве до 200–300 °С.
Величина истинной поверхности, участвующей в физической
адсорбции, может в сотни раз превышать геометрическую
поверхность твердого тела.
    Повышение температуры отжига всегда ускоряет обезгаживание
металлов и улучшает очистку поверхности. Однако при выборе
температуры обезгаживания следует учитывать и возможность
нежелательных структурных изменений металлов, приводящих к
рекристаллизации и к снижению прочности, нарушению
формоустойчивости деталей. Температура обезгаживания должна
быть, по возможности, более высокой, по крайней мере, выше
рабочей температуры деталей в приборах. Эта температура
ограничивается иногда испарением материала (испарение считается
заметным, если давление паров над металлом превышает
10–2 мм рт. ст.). максимальные те6мпературы обезгаживания для
наиболее распространенных метало следующие: для вольфрама –

                                 66