Техника высокого вакуума. Холодкова Н.В - 77 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ИГХТУ | Иваново

Составители: 

Рубрика: 

77
Давление у входа в насос при этом будет равно Р
2
. Затем
диафрагма 4 удаляется. Это приводит к понижении давления в
объема 2 до уровня Р
2
, который можно оценить через поток и
быстроту действия насоса
н
S
Q
P =
2
. (7)
При выполнении условия U << S
н
и постоянной быстроте насоса
в диапазоне изменения давления Р
1
–Р
2
получаем:
н
н
SU
SP
U
Q
PP
+
⋅
==−
1
21
. (8)
Таким образом, метод переменной проводимости позволяет
расширить пределы градуировки вакуумметра до более низкого
давления Р
2
, определяемого по формуле
+
−=
н
н
SU
S
PP 1
12
(9)
при известной быстроте действия насоса и заранее рассчитанной
пропускной способности диафрагмы.
Важным требованием, предъявляемым к системам для
градуировки вакуумметров, является требование низкой скорости
газовыделения с поверхности стенок камеры. Поэтому весьма важно,
чтобы и сама система и градуируемые вакуумметры допускали
прогрев, по крайней мере, до 250 °С. Кроме того, желательно
работать с ионизационными вакуумметрами в режиме низкого тока
для уменьшения эффекта откачки.
В идеальном случае вакуумметр должен градуироваться для
каждого газа по отдельности, однако в действительности достаточно
провести градуировку по какому-то одному газу, а затем
воспользоваться известными коэффициентами относительных
чувствительностей для остальных газов.
Градуировка вакуумметров по азоту или по какому-либо
инертному газу не вызывает осложнений, при этом может быть
достигнута удовлетворительная точность. Активные газы, такие, как
кислород или водород могут реагировать с материалами
вакуумметра либо хемосорбироваться на стенках вакуумной
системы, вызывая существенные отклонения в измерениях. К
сожалению, эти газы довольно часто играют важную роль в
сверхвысоковакуумных системах, так что даже если пользоваться 
    Давление у входа в насос при этом будет равно Р2. Затем
диафрагма 4 удаляется. Это приводит к понижении давления в
объема 2 до уровня Р2, который можно оценить через поток и
быстроту действия насоса
                                  Q
                             P2 = .                        (7)
                                 Sн
    При выполнении условия U << Sн и постоянной быстроте насоса
в диапазоне изменения давления Р1–Р2 получаем:
                                    Q P1 ⋅ Sн
                        P1 − P2 =    =        .             (8)
                                    U U + Sн
    Таким образом, метод переменной проводимости позволяет
расширить пределы градуировки вакуумметра до более низкого
давления Р2, определяемого по формуле
                                        Sн 
                         P2 = P1 1 −                    (9)
                                      U + S н 

при известной быстроте действия насоса и заранее рассчитанной
пропускной способности диафрагмы.
    Важным требованием, предъявляемым к системам для
градуировки вакуумметров, является требование низкой скорости
газовыделения с поверхности стенок камеры. Поэтому весьма важно,
чтобы и сама система и градуируемые вакуумметры допускали
прогрев, по крайней мере, до 250 °С. Кроме того, желательно
работать с ионизационными вакуумметрами в режиме низкого тока
для уменьшения эффекта откачки.
    В идеальном случае вакуумметр должен градуироваться для
каждого газа по отдельности, однако в действительности достаточно
провести градуировку по какому-то одному газу, а затем
воспользоваться известными коэффициентами относительных
чувствительностей для остальных газов.
    Градуировка вакуумметров по азоту или по какому-либо
инертному газу не вызывает осложнений, при этом может быть
достигнута удовлетворительная точность. Активные газы, такие, как
кислород или водород могут реагировать с материалами
вакуумметра либо хемосорбироваться на стенках вакуумной
системы, вызывая существенные отклонения в измерениях. К
сожалению, эти газы довольно часто играют важную роль в
сверхвысоковакуумных системах, так что даже если пользоваться
                                    77

Страницы