РЕШЕНИЕ (файл) вывод, красное-белое:
ВУЗ:
Дисциплина:
Формат файла:
PDF
Ключевые слова:
- учебник
- учебное пособие
Год:
- 2006
Количество страниц:
260
Рассмотрены процессы образования активных частиц в плазме и их взаимодействия с поверхностью твердого тела, а также технологические применения неравновесной плазмы для травления и модификации полимерных и неорганических материалов. Пособие предназначено для студентов специальности "Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники" и может быть полезно для студентов и аспирантов, специализирующихся по технологии микроэлектроники и в смежных областях.
