Вакуумно-плазменные процессы и технологии. Ефремов А.М - 1 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ИГХТУ | Иваново

Составители: 

Рубрика: 

Федеральное агентство по образованию Российской Федерации
Государственное образовательное учреждение
высшего профессионального образования
Ивановский государственный химико-технологический университет
А.М. Ефремов, В.И. Светцов, В.В. Рыбкин
ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННЫЕ ПРОЦЕССЫ И
ТЕХНОЛОГИИ
Учебное пособие
Допущено учебно-методическим объединением по образованию в
области химической технологии и биотехнологии в качестве учебного
пособия для студентов высших учебных заведений, обучающихся по
специальности «Химическая технология монокристаллов, материалов и
изделий электронной техники»
Иваново 2006 
   Федеральное агентство по образованию Российской Федерации
          Государственное образовательное учреждение
             высшего профессионального образования
 Ивановский государственный химико-технологический университет




             А.М. Ефремов, В.И. Светцов, В.В. Рыбкин

      ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННЫЕ ПРОЦЕССЫ И
                ТЕХНОЛОГИИ

                       Учебное пособие

   Допущено учебно-методическим объединением по образованию в
 области химической технологии и биотехнологии в качестве учебного
  пособия для студентов высших учебных заведений, обучающихся по
специальности «Химическая технология монокристаллов, материалов и
                    изделий электронной техники»




                          Иваново 2006

Страницы