Вакуумно-плазменные процессы и технологии. Ефремов А.М - 5 стр.

• увеличение разрешающей способности с уменьшением размеров
   элементов ИМС;
• обеспечение высокой селективности и анизотропии процессов;
• более высокий уровень безопасности работы и экологической чис-
   тоты производства;
• возможность непрерывного контроля хода и окончания процесса;
• возможность создания автоматизированных технологических цик-
   лов, не требующих участия оператора.
      Эти и другие преимущества плазмохимических процессов поро-
дили огромное число работ по применению плазмохимии в техноло-
гии интегральных схем. В то же время нужно отметить, что слож-
ность и многообразие физико-химических процессов, протекающих в
далеких от термодинамического равновесия условиях, не позволили и
до настоящего времени полностью реализовать все преимущества
плазменных технологий, до сих пор отсутствует строгая теория гете-
рогенных процессов, позволяющая надежно прогнозировать конеч-
ный результат технологии. В восьмидесятые годы опубликован ряд
монографий [1 - 4], в которых рассмотрены основы плазменных тех-
нологий и намечены перспективы их дальнейшего использования в
производстве интегральных схем. К сожалению, эти книги, изданные
более 10 лет тому назад сравнительно небольшим тиражом, в на-
стоящее время стали библиографической редкостью. В то же время, в
последние годы появился ряд зарубежных монографий [5 - 8], обоб-
щающих последние достижения как в области плазменной обработки
материалов, так и в области теории плазмы низкого давления. К со-
жалению, большинство этих монографий не переведены на русский
язык и недоступны для широкого круга специалистов, работающих в
данной области. На материале этих монографий в значительной ме-
ре и основано данное учебное пособие.
      Необходимо отметить, что в настоящее время вакуумно-
плазменные технологии вышли далеко за пределы электронной тех-
ники и используются в самых различных отраслях науки и промыш-
ленности. Широко известны применения плазменных технологий в
машиностроении и приборостроении, текстильной и легкой промыш-
ленности, производстве строительных материалов и даже в медицине.




                                5