ВУЗ:
Составители:
3
ПРЕДИСЛОВИЕ
Вакуумно - плазменные технологии относятся к наукоемкимим
технологиям, позволяющим осуществлять обработку материалов и
формировать структуры на наноразмерном уровне и по этому признаку
могут быть отнесены к нанотехнологиям.
Реализация таких технологий требует высококвалифицированных
кадров, хорошо ориентирующихся в вопросах физики и химии
неравновесных плазменных процессов в объеме и на поверхности и
умеющих разрабатывать и прогнозировать технологические процессы
вакуумно-плазменной обработки самых различных материалов –
металлов, полупроводников, диэлектриков, полимеров.
Учебная литература, посвященная вакуумно-плазменным процесса
и технологиям, практически отсутствует. В восьмидесятые годы
опубликован ряд монографий, в которых рассмотрены основы
плазменных технологий и намечены перспективы их дальнейшего
использования в производстве интегральных схем. К сожалению, эти
книги, изданные более 10 лет тому назад сравнительно небольшим
тиражом, в настоящее время стали библиографической редкостью. В
последние годы появился ряд зарубежных монографий, обобщающих
последние достижения как в области плазменной обработки материалов,
так и в области теории плазмы низкого давления, но они не переведены
на русский язык и недоступны для широкого круга специалистов,
работающих в данной области.
Предлагаемое читателям учебное пособие призвано в
определенной мере восполнить этот пробел. В нем рассмотрены
процессы образования активных частиц в плазме и их взаимодействия с
поверхностью твердого тела, а так же технологические применения
неравновесной плазмы для травления и модификации полимерных и
неорганических материалов и некоторые методы контроля
технологических процессов.
Пособие предназначено для студентов, обучающихся по
специальностям и направлениям, связанным с технологией материалов
и изделий электронной техники и микроэлектроники. Оно может быть
полезно и для студентов других специальностей, а так же для
аспирантов и специалистов, занимающихся соответствующими
проблемами.
Замечания и пожелания по содержанию данного пособия просим
направлять по адресу: 153000, Иваново, пр. Ф.Энгельса, 7, ИГХТУ или
по E-mail svetsov@isuct.ru.
ПРЕДИСЛОВИЕ
Вакуумно - плазменные технологии относятся к наукоемкимим
технологиям, позволяющим осуществлять обработку материалов и
формировать структуры на наноразмерном уровне и по этому признаку
могут быть отнесены к нанотехнологиям.
Реализация таких технологий требует высококвалифицированных
кадров, хорошо ориентирующихся в вопросах физики и химии
неравновесных плазменных процессов в объеме и на поверхности и
умеющих разрабатывать и прогнозировать технологические процессы
вакуумно-плазменной обработки самых различных материалов –
металлов, полупроводников, диэлектриков, полимеров.
Учебная литература, посвященная вакуумно-плазменным процесса
и технологиям, практически отсутствует. В восьмидесятые годы
опубликован ряд монографий, в которых рассмотрены основы
плазменных технологий и намечены перспективы их дальнейшего
использования в производстве интегральных схем. К сожалению, эти
книги, изданные более 10 лет тому назад сравнительно небольшим
тиражом, в настоящее время стали библиографической редкостью. В
последние годы появился ряд зарубежных монографий, обобщающих
последние достижения как в области плазменной обработки материалов,
так и в области теории плазмы низкого давления, но они не переведены
на русский язык и недоступны для широкого круга специалистов,
работающих в данной области.
Предлагаемое читателям учебное пособие призвано в
определенной мере восполнить этот пробел. В нем рассмотрены
процессы образования активных частиц в плазме и их взаимодействия с
поверхностью твердого тела, а так же технологические применения
неравновесной плазмы для травления и модификации полимерных и
неорганических материалов и некоторые методы контроля
технологических процессов.
Пособие предназначено для студентов, обучающихся по
специальностям и направлениям, связанным с технологией материалов
и изделий электронной техники и микроэлектроники. Оно может быть
полезно и для студентов других специальностей, а так же для
аспирантов и специалистов, занимающихся соответствующими
проблемами.
Замечания и пожелания по содержанию данного пособия просим
направлять по адресу: 153000, Иваново, пр. Ф.Энгельса, 7, ИГХТУ или
по E-mail [email protected].
3
