Вакуумно-плазменные процессы и технологии. Ефремов А.М - 2 стр.

УДК

Вакуумно-плазменные процессы и технологии: Учеб. пособие/А.М.
Ефремов, В.И. Светцов, В.В. Рыбкин; ГОУВПО Иван. гос. хим.-технол.
ун-т. Иваново, 2006. 260 с. ISBN 5-9616-0155-2

     Рассмотрены процессы образования активных частиц в плазме и
их взаимодействия с поверхностью твердого тела, а так же
технологические применения неравновесной плазмы для травления и
модификации полимерных и неорганических материалов. Пособие
предназначено для студентов специальности «Химическая технология
монокристаллов, материалов и изделий электронной техники» и может
быть полезно для студентов и аспирантов, специализирующихся по
технологии микроэлектроники и в смежных областях.

Печатается по решению редакционно-издательского совета ГОУВПО
Ивановского государственного химико-технологического университета

                             Рецензенты:
Д.х.н., профессор Гиричев Георгий Васильевич
Д.т.н., профессор Семенов Владимир Константинович


                       Редактор В.Л. Родичева


                                         © ГОУВПО Ивановский
                                           государственный
                                           химико-технологический
                                           университет,
                                           2006


Подписано в печать 28.03.2006. Формат 60х84 1/16. Бумага писчая. Усл.
печ. л. 15,11. Уч.-изд. л. 16,77
Тираж 150 экз. Заказ
    ГОУВПО Ивановский государственный химико-технологический
                                 университет
 Отпечатано на полиграфическом оборудовании кафедры экономики и
                       финансов ГОУВПО «ИГХТУ»
                   153000, г. Иваново, пр. Ф. Энгельса, 7