РЕШЕНИЕ (файл) вывод, красное-белое:
ВУЗ:
Дисциплина:
Формат файла:
PDF
Ключевые слова:
- лабораторный практикум
Год:
- 2006
Количество страниц:
136
Вторая часть данного лабораторного практикума содержит описание и порядок выполнения шести базовых лабораторных работ по курсу "Процессы микро- и нанотехнологий", входит в комплект базовых учебных пособий по данному курсу, читаемому студентам специальности 210100 "Микроэлектроника и твердотельная микроэлектроника" и посвящена изучению технологий очиcтки материалов, получению тонких пленок на поверхности подложек, а также фотолитографии, технологии изготовления МДП - интегральных микросхем и планарно-эпитаксиальной технологии изготовления микросхем на биполярных транзисторах.Каждое описание лабораторной работы содержит подробное теоретическое введение, описание лабораторного оборудования, порядок выполнения работы, лабораторное задание и перечень вопросов для самоподготовки.При подготовке лабораторного практикума были использованы методические рекомендации и лабораторные образцы ЭЗ "Протон" г. Зеленоград.
