Технология микро- и наноэлектроники

UptoLike

Методы формирования структур элементов наноэлектроники и наносистемной техники

Физические основы наноэлектроники. Ткалич В.Л

Введение в микроэлектронику. Гатчин Ю.А

Лазерные микро- и нанотехнологии в микроэлектронике: Опорный конспект лекций. Вейко В.П.

Локальная диагностика состава полупроводниковых наносистем методом сканирующей оже-микроскопии". Николичев Д.Е

Современные методы высоковакуумного напыления и плазменной обработки тонкопленочных металлических структур. Вдовичев С.Н.

Ионное легирование кремния. Карзанов В.В

Технология литографических процессов. Лапшинов Б.А.

Моделирование распределения осаждаемых частиц по поверхности подложки при ионно-плазменном нанесении тонких пленок. Григорьев Ф.И

Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 1. Шутов Д.А

Страницы