Ионное легирование кремния. Карзанов В.В

UptoLike

Ионное легирование кремния. Карзанов В.В

РЕШЕНИЕ (файл) вывод, красное-белое: 

ВУЗ: 

ННГУ | Нижний Новгород

Дисциплина: 

ННГУ | Нижний Новгород - ТМиНЭ

Составители: 

Формат файла: 

PDF

Ключевые слова: 

  • лабораторный практикум

Год: 

  • 2013

Количество страниц: 

21
Источник файла
Целью настоящего лабораторного практикума является ознакомление с технологией ионной имплантации, освоение физических основ технологического процесса и овладение навыками расчета распределений ионов в твердых телах с помощью программы компьютерного моделирования методом Монте-Карло. Практикум предназначен для студентов физического факультета ННГУ, обучающихся по направлениям подготовки: 210100 - "Электроника и наноэлектроника", 222900 - "Нанотехнологии и микросистемная техника".

Рекомендуемые учебно-методические материалы

Ионное легирование кремния. Карзанов В.В
Просмотреть (PDF)
Карзанов В.В., Королев Д.С.
Карзанов В.В., Королев Д.С. Ионное легирование кремния: Практикум. - Нижний Новгород: Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, 2013. - 21 с.
Современные методы высоковакуумного напыления и плазменной обработки тонкопленочных металлических структур. Вдовичев С.Н.
Просмотреть (PDF)
Вдовичев С.Н.
Вдовичев С.Н. Современные методы высоковакуумного напыления и плазменной обработки тонкопленочных металлических структур. Электронное учебно-методическое пособие. - Нижний Новгород: Нижегородский госуниверситет, 2012. - 60 с.
Локальная диагностика состава полупроводниковых наносистем методом сканирующей оже-микроскопии". Николичев Д.Е
Просмотреть (PDF)
Николичев Д.Е., Боряков А.В.
Николичев Д.Е., Боряков А.В. Локальная диагностика состава полупроводниковых наносистем методом сканирующей оже-микроскопии": Учебно-методическое пособие. - Нижний Новгород: Изд-во Нижегородского госуниверситета, 2011. - 110 с.