ННГУ | Нижний Новгород - ТМиНЭ

UptoLike

Полное название: 

Технология микро- и наноэлектроники

Учебно-методические материалы по дисциплине

Ионное легирование кремния. Карзанов В.В
Просмотреть (PDF)
Карзанов В.В., Королев Д.С.
Карзанов В.В., Королев Д.С. Ионное легирование кремния: Практикум. - Нижний Новгород: Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, 2013. - 21 с.
Современные методы высоковакуумного напыления и плазменной обработки тонкопленочных металлических структур. Вдовичев С.Н.
Просмотреть (PDF)
Вдовичев С.Н.
Вдовичев С.Н. Современные методы высоковакуумного напыления и плазменной обработки тонкопленочных металлических структур. Электронное учебно-методическое пособие. - Нижний Новгород: Нижегородский госуниверситет, 2012. - 60 с.
Локальная диагностика состава полупроводниковых наносистем методом сканирующей оже-микроскопии". Николичев Д.Е
Просмотреть (PDF)
Николичев Д.Е., Боряков А.В.
Николичев Д.Е., Боряков А.В. Локальная диагностика состава полупроводниковых наносистем методом сканирующей оже-микроскопии": Учебно-методическое пособие. - Нижний Новгород: Изд-во Нижегородского госуниверситета, 2011. - 110 с.