Локальная диагностика состава полупроводниковых наносистем методом сканирующей оже-микроскопии". Николичев Д.Е

UptoLike

Локальная диагностика состава полупроводниковых наносистем методом сканирующей оже-микроскопии". Николичев Д.Е

РЕШЕНИЕ (файл) вывод, красное-белое: 

ВУЗ: 

ННГУ | Нижний Новгород

Дисциплина: 

ННГУ | Нижний Новгород - ТМиНЭ

Составители: 

Формат файла: 

PDF

Ключевые слова: 

  • учебник
  • учебное пособие

Год: 

  • 2011

Количество страниц: 

110
Источник файла
Рассматриваются физические основы методов электронной оже-спектроскопии, сканирующей оже-микроскопии и принципы работы растрового электронного микроскопа. Описана методика исследования морфологии поверхности и состава полупроводниковых наноструктур с нанометровым разрешением. Приведены данные анализа состава самоорганизованных кремний-германиевых систем и тонкопленочных структур разбавленных магнитных полупроводников.Для студентов старших курсов и магистратуры физического факультета ННГУ, обучающихся по специальностям 210600 - "Нанотехнология в электронике" и 210100 - "Электроника и микроэлектроника", направление специализации - "Физика твердотельных наноструктур".

Рекомендуемые учебно-методические материалы

Ионное легирование кремния. Карзанов В.В
Просмотреть (PDF)
Карзанов В.В., Королев Д.С.
Карзанов В.В., Королев Д.С. Ионное легирование кремния: Практикум. - Нижний Новгород: Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, 2013. - 21 с.
Современные методы высоковакуумного напыления и плазменной обработки тонкопленочных металлических структур. Вдовичев С.Н.
Просмотреть (PDF)
Вдовичев С.Н.
Вдовичев С.Н. Современные методы высоковакуумного напыления и плазменной обработки тонкопленочных металлических структур. Электронное учебно-методическое пособие. - Нижний Новгород: Нижегородский госуниверситет, 2012. - 60 с.
Локальная диагностика состава полупроводниковых наносистем методом сканирующей оже-микроскопии". Николичев Д.Е
Просмотреть (PDF)
Николичев Д.Е., Боряков А.В.
Николичев Д.Е., Боряков А.В. Локальная диагностика состава полупроводниковых наносистем методом сканирующей оже-микроскопии": Учебно-методическое пособие. - Нижний Новгород: Изд-во Нижегородского госуниверситета, 2011. - 110 с.