РЕШЕНИЕ (файл) вывод, красное-белое:
ВУЗ:
Дисциплина:
Формат файла:
PDF
Ключевые слова:
- учебник
- учебное пособие
Год:
- 2011
Количество страниц:
99
Изложены принципы и методы выполнения всех операций, составляющих единый технологический процесс фотолитографии. Дан анализ ограничений разрешающей способности традиционной фотолитографии и показаны пути их преодоления. Приведены сведения о развитии литографических процессов и основные принципы их реализации.Для студентов 3 и 4 курсов обучающихся по специальности 210100 "Электронное машиностроение".
