НИУ ВШЭ | Москва - ТМиНЭ

UptoLike

Полное название: 

Технология микро- и наноэлектроники

Учебно-методические материалы по дисциплине

Моделирование распределения осаждаемых частиц по поверхности подложки при ионно-плазменном нанесении тонких пленок. Григорьев Ф.И
Просмотреть (PDF)
Григорьев Ф.И., Чернов А.А.
Технология литографических процессов. Лапшинов Б.А.
Просмотреть (PDF)
Лапшинов Б.А.
Лапшинов Б.А. Технология литографических процессов. Учебное пособие. - Московский государственный институт электроники и математики. - М., 2011. - 95 с.