Оптическая низкокогерентная интерферометрия и томография. Кальянов А.Л - 61 стр.

UptoLike

Рубрика: 

61
чем на
0
λ
. Из-за этого по интерференционной картине на рисунке 7а, полученной в монохрома-
тическом свете, невозможно сказать, на сколько интерференционных полос сместилась интер-
ференционная картина внутри выступа по сравнению с основной интерференционной картиной.
Следовательно, нельзя установить, на сколько изменилась разность хода между интерфери-
рующими полями и поэтому нельзя определить высоту неровности.
Наличие ахроматической (неокрашенной) центральной интерференционной полосы на
рис. 7б позволяет однозначно определить, на сколько полос сместилась интерференционная
картина, несмотря на разрыв ахроматической полосы на границе неровности. В этом заключа-
ется преимущество работы с источником белого света. Наблюдение картины интерференции в
белом свете позволяет определять рельеф поверхности в случае, если он превышает
значение
2
0
λ
. Использование же монохроматического источника оправдано в случаях, когда размеры
неровностей меньше указанной величины. Оценка смещения интерференционной картины не
по одной ахроматической полосе, а по нескольким полосам, смещенным на одну и ту же вели-
чину, позволяет значительно увеличить точность измерений.
Допустим, требуется определить высоту точки A выступа. Для этого необходимо опре-
делить,
на сколько полос сместилась интерференционная картина в этой точке. Точка A распо-
ложена на центральной ахроматической полосе, которую обозначим N
01
(рис. 7б), поэтому от-
считывать смещение следует от ахроматической полосы невозмущенной интерференционной
картины, которую обозначим N
00
. Теперь можно определить, на сколько полос сместилась ах-
роматическая полоса из положения, обозначенного маркером N
00
, в положение, обозначенное
маркером N
01
. Полосы считаются от одного локального минимума (максимума) интенсивности
невозмущенной интерференционной картины до следующего минимума (максимума), что будет
соответствовать изменению оптической разности хода интерферирующих волн на
0
λ
, или из-
менению высоты рельефа поверхности на
2
0
λ
. Определение смещения полос по интерферен-
ционной картине в белом свете в данном случае не будет достаточно точным, из-за окрашива-
ния интерференционных полос высоких порядков, в результате чего нельзя с большой точно-
стью определить положение локального минимума, или максимума интенсивности. Однако,
зная положение смещенной ахроматической полосы, которое определили из интерференцион-
ной картины в белом свете, можно воспользоваться интерференционной картиной в монохро-
матическом свете, которая позволяет визуально определять смещение полос до десятых долей
ширины полосы.