ВУЗ:
Составители:
Соленоидные индукторы
Традиционный соленоидальный индуктор изготавливается путем
намотки токопроводящего провода вокруг магнитного сердечника.
Однако не все так просто при изготовлении микроиндуктора такого
типа, потому что очень сложно реализовать 3D-структуру в планар-
ном виде. Традиционными методами изготовления ИС реализовать
микрокатушку, намотанную вокруг сердечника, даже сложнее, чем
получить меандр или спираль. Хотя индукторы из меандров просты в
изготовлении, они обладают низким значением индуктивности. Для
спиральных индукторов необходим дополнительный провод, соединя-
ющий внутренний конец катушки с внешним выводом, приводящий к
возникновению паразитных емкостей. Были попытки создать гибрид-
ный планарный соленоидный индуктор, вручную наматывая витки
провода вокруг тонкой магнитной пленки. Существует описание инте-
грированного индуктора, в котором катушка намотана вокруг воздуш-
ного сердечника, реализованного на кремниевой подложке. Однако
электрические параметры этих индукторов не подходят для магнит-
ных микроустройств [14].
На рис. 69 показан планарный солиноидный микроиндуктор, из-
готовленный на кремниевой подложке. Индуктор состоит из маг-
нитного сердечника, изготовленного из Ni-Fe пермаллоя, толщиной
25 мкм, вокруг которого сформированы многоуровневые медные про-
водящие линии толщиной 30 мкм. Размеры индуктора: 4мм х 1.0мм
при толщине 110 мкм. Многоуровневая катушка состоит из 33 витков
[14].
Верхний и нижний проводники катушки соединяются при по-
мощи сквозных контактов. Для получения высоких значений ин-
дуктивности требуется создание соленоида с большим количеством
витков, что приводит к увеличению числа контактов, и, соответ-
ственно, росту сопротивления. Нанесение проводящих линий и кон-
тактов гальваническим методом решает эту проблему, поскольку в
этом случае металлические контакты имеют небольшое сопроти-
вление. В рассматриваемом индукторе ширина проводящих линий
равна 80 мкм, а ширина пластины сердечника — 300 мкм. Экспери-
ментально определенное сопротивление проводящей линии по посто-
янному току составило 0.3 Ом [14].
107
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 105
- 106
- 107
- 108
- 109
- …
- следующая ›
- последняя »
