Компоненты микросистемной техники. Часть 1. Коноплев Б.Г - 109 стр.

UptoLike

Основными параметрами при разработке индукторов являются
внешние размеры, ширина и шаг металлических дорожек, толщина
металла, число витков и материал подложки. Поскольку здесь идет
речь о микро- и даже нановеличинах, характеристики материалов, ис-
пользуемых для изготовления микроиндукторов, сильно зависят от их
объемных свойств. При соответствующем подборе вышеописанных
параметров можно реализовать точные заданные значения индуктив-
ности и добротности [14].
На рис. 70 показаны расчетные и экспериментальные зависимо-
сти индуктивности от величины расстояния между проводниками для
индуктора из меандров и спирального индуктора. При уменьшении
расстояния между линиями наблюдается увеличение индуктивности в
спиральных индукторах и ее снижение в индукторах из меандров. Это
объясняется тем, что для спиральных катушек характерны по-
ложительные значения взаимных индуктивностей, а для катушек из
меандров часть из них – отрицательные [14].
Рис. 70. Зависимости индуктивности от расстояния между проводящи-
ми линиями для спирального индуктора и индуктора из меандров
109