ВУЗ:
Составители:
личин [13].
Многомерные сенсоры могут иметь общие элементы и поэтому
могут быть проще, чем совокупность одномерных датчиков [13].
По количеству выполняемых сенсором функций их можно разде-
лить на однофункциональные и многофункциональные (от m=2,3...).
Многофункциональные сенсоры могут, помимо основной функции
(восприятие величины и формирование измерительного сигнала), вы-
полнять ряд дополнительных функций, таких как, например, функции
фильтрации, обработки аналоговых сигналов и т. п. [13].
По количеству физических эффектов [13]:
– в сенсорах могут использоваться последовательно или парал-
лельно один или несколько физических эффектов, т. е. они могут быть
одноступенчатыми и многоступенчатыми. В настоящее время сенсоры,
воспринимающие более трех величин, а также сенсоры, выполняющие
более трех функций и основанные на использовании более трех физи-
ческих явлений, довольно редки;
– таким образом, сенсоры можно представить в трехмерном про-
странстве с координатами: количество величин — n; количество функ-
ций – m; количество ступеней преобразований – l.
Контрольные вопросы
1. Параметры и характеристики МСТ.
2. Термины, определения и буквенные обозначения параметров и
характеристик МСТ.
3. Классификация сенсорных компонентов МСТ.
3. ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ ДЛЯ МИКРОСИСТЕМ
Пьезорезистивные чувствительные элементы
Основными компонентами пьезорезистивных элементов являются
резисторы, меняющие свое сопротивление под действием внешнего
давления. Пьезорезисторы используются для измерения таких физиче-
ских параметров, как давление, сила, скорость потока. Также пьезоре-
зистивные сенсоры могут использоваться в качестве сенсоров линей-
ного ускорения (акселерометров) и сенсоров давления (рис. 9) [14].
17
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 15
- 16
- 17
- 18
- 19
- …
- следующая ›
- последняя »
