Компоненты микросистемной техники. Часть 1. Коноплев Б.Г - 19 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

на его чувствительность [14].

Рис. 10. Встречно-штыревой преобразователь

Пьезорезистивный сенсор первого типа при высоких давлениях,

когда деформация его мембраны превышает 10% ее толщины, стано-

вится нелинейным [14].

Емкостные чувствительные элементы

В емкостных чувствительных элементах деформация диафрагмы

под действием силы приводит к изменению емкости, что, в свою оче-

редь, вызывает изменение соответствующего электрического сигнала:

частоты, времени, заряда, напряжения (рис. 11) [14].

Такие сенсоры могут применяться для определения давления,

силы, ускорения, скорости потока, перемещения, положения, ориента-

ции и т.д.

В емкостных сенсорах изменение емкости не является линейным

по отношению к деформации диафрагмы. При определении малых зна-

чений емкости (порядка 1-3 пФ) необходимо размещать измеритель-

ную цепь на том же самом кристалле. По сравнению с пьезорезистив-

ными чувствительными элементами, емкостные сенсоры обладают бо-

лее высокой чувствительностью, большей стабильностью, но меньшим

диапазоном измеряемых давлений [14].