Компоненты микросистемной техники. Часть 1. Коноплев Б.Г - 20 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

Рис. 11. Емкостной чувствительный элемент

Пьезоэлектрические чувствительные элементы

Эта группа преобразователей основана на пьезоэлектрическом эф-

фекте пьезоматериалов. Когда внешняя сила действует на пьезоэлек-

трическую пленку, на ее поверхности возникает электрический заряд

(рис. 12) [14].

электроды

пьезоэлектрик

Рис. 12. Пьезоэлектрический чувствительный элемент

На электродах, расположенных на пьезоэлектрическом диске тол-

щиной t, при создании на нем механического давления Т возникает

электрическое напряжение U [14]:

U =gtT

где g – пьезоэлектрический коэффициент напряжения.

Пьезоэлектрические чувствительные элементы нашли широкое

применение в датчиках давления и силы, в акселерометрах и спидо-

метрах, в гидрофонах и микрофонах.

Резонансные чувствительные элементы

Принцип действия резонансных чувствительных элементов станет