ВУЗ:
Составители:
понятным, если вспомнить эффект изменения собственной частоты
струны под действием сил растяжения. В резонансных датчиках
напряжение, возникающее в диафрагме из-за действия на нее внешне-
го давления, приводит к изменению собственной частоты резонатора.
По этим вариациям собственной частоты можно судить о прикладыва-
емом давлении [14].
Изменение собственной резонансной частоты резонатора, закреп-
ленного с обоих концов, определяется следующим выражением [14]:
Δf
f
=kε
,
где k – коэффициент тензочувствительности.
На основе резонансных элементов можно разрабатывать очень
чувствительные сенсоры, поскольку они обладают высоким коэффи-
циентом тензочувствительности, который, фактически, определяет
чувствительность самого элемента. Однако технология изготовления
резонансных датчиков, как правило, намного сложнее, чем пьезорези-
стивных, к тому же резонансные сенсоры необходимо герметизиро-
вать для защиты от влаги [14].
Чувствительные элементы на
поверхностных акустических волнах (ПАВ)
Первоначально устройства на ПАВ использовались в радарах и
системах связи в качестве фильтров и линий задержек, но в дальней-
шем оказалось очень перспективным применять чувствительные эле-
менты на ПАВ для определения ряда физических величин. На их осно-
ве разрабатываются надежные и сравнительно недорогие датчики для
различных областей применения. Уникальной особенностью ПАВ сен-
соров является прямая зависимость их выходных характеристик от из-
менения ряда физических и химических параметров, таких как масса,
напряжение, деформация, для жидкостей: плотность, вязкость, прово-
димость и диэлектрическая проницаемость [14].
Устройства на ПАВ представляют собой пьезоэлектрическую
подложку, на поверхности которой расположены встречно-штыревой
преобразователь (ВШП) – главный элемент любых устройств на ПАВ
(рис. 13). Его основной задачей является преобразование электриче-
21
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 19
- 20
- 21
- 22
- 23
- …
- следующая ›
- последняя »
