Компоненты микросистемной техники. Часть 1. Коноплев Б.Г - 23 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТТИ ЮФУ | Таганрог

Составители: 

Рубрика: 

тически нулевым температурным коэффициентом, что обеспечивает
незначительный уход частоты при изменении температуры [14].
Меняя ориентацию срезов кристалла, можно реализовывать
разные виды ПАВ. При этом для каждого конкретного случая при-
менения возможно подобрать оптимальную волну, и с учетом этого
уже разрабатывать сенсор [14].
Другими преимуществами пьезоэлектрических материалов яв-
ляются их низкие внутренние потери, равномерная плотность и упру-
гость, а также хорошие механические свойства. При разработке аку-
стических сенсоров важным является выбор устройства для преобразо-
вания ПАВ, в которых заключена информация об изменениях измеряе-
мых физических параметров в выходной электрический сигнал. Любое
малое возмущение, появляющееся в акустических волнах, должно вы-
зывать значительный отклик в преобразованном выходном электро-
магнитном сигнале. Возможность реализации этого заключена в
огромной разности скоростей распространения акустической и элек-
тромагнитной волн [14].
Контрольные вопросы
1. Пьезорезистивные чувствительные элементы.
2. Емкостные чувствительные элементы.
3. Пьезоэлектрические чувствительные элементы.
4. Резонансные чувствительные элементы.
5. Чувствительные элементы на поверхностных акустических вол-
нах (ПАВ).
4. СЕНСОРНЫЕ КОМПОНЕНТЫ МСТ.
ЧАСТЬ 1. ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ДАТЧИКИ
Пьезоэлектрические датчики содержат кристаллы или текстуры,
электризующиеся под действием механических напряжений (прямой
пьезоэффект) и деформирующиеся в электрическом поле (обратный
пьезоэффект).
Пьезоэлектрическими свойствами обладают многие кристалличе-
ские вещества: кварц, турмалин, ниобат лития, сегнетова соль и др., а
также искусственно создаваемые и специально поляризуемые в элек-
23

Страницы