Компоненты микросистемной техники. Часть 1. Коноплев Б.Г - 22 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

ской энергии в механическую и наоборот с целью генерации и детек-

тирования ПАВ [14].

Рис. 13. Чувствительный элемент на ПАВ

Вид акустических волн, возбуждаемых в пьезоэлектрическом ма-

териале, зависит, главным образом, от свойств самого материала, от

среза кристалла и структуры электродов, используемых для преобразо-

вания электрической энергии в механическую [14].

Были исследованы возможности применения в качестве датчиков

различных типов акустических устройств, основанных на волнах Рэлея

и на поперечных ПАВ с горизонтальной поляризацией (SH-ПАВ), на

плоских акустических волнах и плоских волнах изгиба, а также на вол-

нах Лэмба [14].

Принцип действия чувствительных элементов на ПАВ основан на

том, что время распространения ПАВ между двумя ВШП зависит от

изменений некоторых физических величин (рис. 14) [14].

Рис. 14. Принцип действия чувствительных элементов на ПАВ

Анизотропная природа пьезоэлектрических кристаллов позволяет,

меняя углы среза, получать уникальные характеристики чувствитель-

ных элементов, реализованных на их основе. Например, в акселеро-

метрах на ПАВ применяются кварцевые кристаллы, обладающие прак-